访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

战略支援部队某旅：工作有了标准，效率有了提高******

　　官兵们正在检修装备。作者供图

　　“参照《维护保养手册》，我们干工作更加得心应手。”年终岁尾，战略支援部队某旅组织装备换季保养工作，官兵们按照手册上的“标准流程”维护保养装备，工作效率显著提高。

　　该旅分队长、二级军士长李伟介绍说，过去装备维修保养，他们只能逐项排查或凭借经验判断故障问题，既增加了日常工作量，也给维修保养带来不小难题。如今，有了这本“百宝书”，能详细了解装备自列装以来历次故障原因、修理方法，“对症下药”精准保养，就有了参考方向和技术支撑。

　　编写这本《维护保养手册》，源于一次演练任务。去年底，该旅组织实装考核演练，导调组临机下达突发情况指令后，李伟所在分队因通信不畅没有及时处置问题，考核成绩被判定不合格。事后分析原因发现，演练前装备保养不到位，电源装置过期失效，导致装备无法供电，操作失灵。

　　演练复盘时，一名战士心有不甘地说：“怎么也没想到会发生这样的情况！”

　　说者无意，听者有心。一个想法在李伟的脑海萌发：能不能像汽车4S店一样，给装备撰写一本《维护保养手册》？

　　演练结束后，李伟立刻开展调研。他发现，尽管每年单位都会统一组织换季保养，但官兵往往对装备状况掌握不够全面，维护难以“对症下药”，保养难免存在盲区、漏洞。整理好调研资料，李伟向旅机关提交了一份关于建立装备维护保养档案的意见。

　　得到上级机关批准后，李伟决定打造一个“样板工程”。他带领维修技术骨干梳理整合装备各类故障申报、保养履历等数据，精确分析装备“健康指标”，并将摸索积累的经验转化为装备维护保养注意事项，编写《维护保养手册》、设置保养提示卡片，让装备状况一目了然，维护保养工作更加科学高效。

　　手册好不好用，官兵最有发言权。随后，李伟带着手册来到训练场，在抢修光缆任务中，一台工程机械车突发故障。操作手邸文育查阅《维护保养手册》，立刻判定出问题点位并及时排除，任务顺利完成。

　　没过多久，某型工程机械车列装该旅。该车辆信息化程度高、操作系统复杂，他们要从零开始学习。这时候，李伟再次主动请缨，带领团队主动到生产厂家、部队院校取经，就装备重点部位保养开展流程化设计，对日常维护保养措施进行量化。数个月后，李伟所在团队掌握了该型装备的日常维护保养方法，能够做到装备性能“一口清”、故障问题“一摸准”。

　　科学精细管装用装，保障能力水涨船高。今年，该旅千里机动至某陌生复杂地域开展装备试验任务，多项装备精细化管理成果在任务中得到有效检验。